低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，当外加电压达到气体的着火电压时，气体被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基及O3在内的混合体。放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。低温等离子体降解污染物是利用这些高能电子、自由基、O3等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。
应用范围：
低温等离子体废气处理设备产生的高能电子能量高，自由基密度大，因此绝大部分异味分子均能被分解，处理对象广泛，可用于石油化工、制药行业、饲料和肥料加工厂、畜牧产品农场。化纤厂、皮革厂、制浆厂、污水泵站、各类污水处理厂、涂料、食品添加剂厂、皮革加工、感光材料、汽车制造及公厕、粪便运转站等诸多行业存在的有机废气、异味、恶臭等污染问题。